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Optische Charakterisierung eines Multi-Zonen-Hologramms

Bei unterschiedlichen Mess- und Justageaufgaben kommen Computergenerierte Hologramme (CGHs) mit mehreren Zonen (MZ-CGHs) zum Einsatz. Das sind Diffraktive Optische Elemente (DOE) zur Formung fast beliebiger Wellenfronten. Die Abbildung zeigt einen Aufbau zur Messmittel-Fähigkeitsanalyse der eingesetzten CGHs. So wird beispielsweise die Geradheit der durch die Spot-Serie definierten Achse mit einer Genauigkeit im Submikrometerbereich überprüft, die wiederum bei der lateralen Linsenjustage entscheidend ist.

 


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